정전 구동형 캔틸레버 센서

Abstract

본 발명은 센서의 제작과 바이오 물질의 측정이 편리한 정전 구동형 캔틸레버 센서를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적 달성을 위하여 본 발명은 센서 내부에 캔틸레버를 포함하며, 상기 캔틸레버에 특정물질이 포집되어 고유진동수 변화에 의하여 포집 물질의 질량을 측정하는 정전 구동형 캔틸레버 센서에 있어서, 마이크로 레벨의 투명 재질이며, 하단에 에칭에 의하여 형성된 전극 공간을 포함하는 상단기판; 상기 상단기판 하단에 ITO로 형성되어 투명한 재질의 제1전극; 및 상기 상단기판의 하단에 상기 상단기판과 결합하는 하단기판을 포함하되, 상기 하단기판은: 상기 상단기판과 결합하는 고정부; 상기 고정부에 연장형성되는 캔틸레버; 상기 고정부 하단에 형성되는 실리콘 층; 상기 실리콘 층과 상기 캔틸레버 사이에 형성되는 레버 공간; 및 상기 캔틸레버 상단에 형성되는 제2전극을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.