수처리 멤브레인 제조용 마이크로 구조 템플릿 제조 방법

Abstract

본 발명은 표면에 마이크로 구조를 포함하는 템플릿을 이용하여 다공성 PVDF를 제조하는 방법을 적용하기 위한 마이크로 구조 템플릿 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 표면에 마이크로 구조가 형성된 템플릿에 멤브레인용 수지 용액을 코팅하여 다공성 특성을 갖는 멤브레인을 제조하는 방법에 적용되는 수처리 멤브레인 제조용 마이크로 구조 템플릿 제조 방법에 있어서, 표면에 마이크로 구조가 형성될 기판을 준비하는 기판 준비 단계; 상기 기판 표면에 감광제를 도포하여 감광제 층을 형성하는 감광제 도포 단계; 빛이 투과되는 패턴이 형성되는 마스크를 준비하는 마스크 준비 단계; 상기 마스크를 상기 감광제 층 상단에 위치시키고 상기 마스크에 빛을 방사하는 노광 단계; 현상액을 이용하여 상기 감광제 중 빛에 노출된 부분을 제거하는 감광제 층에 패턴을 형성하는 감광층 제거 단계; 상기 감광제 층에 형성된 패턴에 금속을 증착하는 금속 증착 단계; 상기 잔여 감광제 층을 제거하여 기판 표면에 마이크로 금속닷만 남기는 세정 단계; 및 상기 기판 중 마이크로 금속닷 부분 이외를 식각하여 마이크로 와이어를 형성하는 식각 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.