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- Cho, Jaephil
- Nano Energy Storage Material Lab.
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실리콘나이트라이드 음극재 및 이의 제조 방법
- Alternative Title
- Anode materials including Silicon nitride and method for manufacturing thereof
- Application Date
- 2017-12-04
- Registration Date
- 2019-07-02
- Application No.
- 10-2017-0165391
- Publication No.
- 10-1997665
- Abstract
- 본 발명은 기체상인 실란 가스와 암모니아 가스가 열분해되어 제조된 실리콘나이트라이드 입자 또는 실란 가스와 암모니아 가스가 탄소계 소재 상에 기상증착되어 제조된 실리콘나이트라이드 박막의 표면에 탄소 원자가 코팅된 실리콘나이트라이드 음극재 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
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