본 발명은, 양산되는 집적 회로의 동작 변수의 산포에 의한 성능 변수의 제1 확률 밀도 함수를 획득하는 과정과, 상기 집적 회로의 공정 변수의 산포에 의한 상기 성능 변수의 제2 확률 밀도 함수를 획득하는 과정과, 상기 집적 회로의 상기 성능 변수의 분포 특성을 통합적으로 확률 해석하기 위하여, 상기 제1 확률 밀도 함수와 상기 제2 확률 밀도 함수를 컨볼루션하는 과정을 포함하는, 집적 회로의 성능 지표를 통합적으로 확률 해석하는 방법을 제공한다.