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- Seok, Sang Il
- Laboratory for Energy Harvesting Materials and Systems
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박막 코팅 장치 및 이를 이용한 태양 전지 제조 방법
- Alternative Title
- Thin-film coating apparatus and method for manufacturing solar cell using the same
- Application Date
- 2018-06-21
- Registration Date
- 2019-10-25
- Application No.
- 10-2018-0071645
- Publication No.
- 10-2039038
- Abstract
- 본 발명의 일 측면에 따르면, 상면에 기판이 안착될 수 있는 지지부와, 상기 지지부의 상부에 배치되되 상기 기판에 근접하거나 멀어지도록 상하방향으로 운동할 수 있으며, 상기 기판 상에 제1 코팅물질을 도포하는 제1 코팅부와, 상기 지지부의 상부에 상기 제1 코팅부와 인접하도록 배치되며, 상기 기판 상에 제2 코팅물질을 도포하는 제2 코팅부를 구비하는, 박막 코팅 장치가 제공된다.
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