| dc.contributor.assignee |
울산과학기술원 / (주)프런티어에너지솔루션 |
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| dc.contributor.author |
노성호 |
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| dc.contributor.author |
강동우 |
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| dc.contributor.author |
김동제 |
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| dc.contributor.author |
석상일 |
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| dc.date.accessioned |
2024-01-23T17:36:17Z |
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| dc.date.application |
2018-06-21 |
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| dc.date.available |
2024-01-23T17:36:17Z |
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| dc.date.registration |
2019-10-25 |
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| dc.description.abstract |
본 발명의 일 측면에 따르면, 상면에 기판이 안착될 수 있는 지지부와, 상기 지지부의 상부에 배치되되 상기 기판에 근접하거나 멀어지도록 상하방향으로 운동할 수 있으며, 상기 기판 상에 제1 코팅물질을 도포하는 제1 코팅부와, 상기 지지부의 상부에 상기 제1 코팅부와 인접하도록 배치되며, 상기 기판 상에 제2 코팅물질을 도포하는 제2 코팅부를 구비하는, 박막 코팅 장치가 제공된다. |
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| dc.identifier.patentApplicationNumber |
10-2018-0071645 |
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| dc.identifier.patentRegistrationNumber |
10-2039038 |
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| dc.identifier.uri |
https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/68855 |
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| dc.title.alternative |
Thin-film coating apparatus and method for manufacturing solar cell using the same |
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| dc.title |
박막 코팅 장치 및 이를 이용한 태양 전지 제조 방법 |
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| dc.type |
Patent |
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| dc.publisher.country |
KO |
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| dc.type.iprs |
특허 |
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