플렉서블 봉지 재료용 금속 박막 합성 및 물성 평가

Abstract

휘거나 접을 수 있어 차세대 디스플레이로 주목받고 있는 플렉서블 디스플레이의 상용화 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 이에 따라 봉지 재료에 대한 연구도 많이 진행되고 있는데, 봉지막은 외부에서 유입되는 수분과 산소를 차단함으로써 수분과 산소에 취약한 소자의 산화를 방지 할 뿐만 아니라 기계적 충격으로부터 보호하기 위한 필수적인 구조이다. 기존의 유리 봉지 공정 경우 수분 및 산호 투습 방지 효과는 뛰어나지만 쉽게 깨지기 때문에 플렉서블 소자에 적용이 어렵고, 원자층 증착법을 이용한 무기물 박막공정 경우 공정 비용 또는 공정 시간으로 인한 수율 측면에서 상용화에 한계점이 있다. 본 연구에서는 대면적화 및 상온 공정이 가능한 스퍼터링 기술을 이용하여 플렉서블 봉지 재료용 금속 박막을 제조하였다. 봉지 특성 평가를 위해 칼슘 부식 시험법을 이용하여 수분투광율을 측정하였다. 또한 나노 인장 시험을 통해 강도 및 연성 등의 기계적 물성을 평가하고 플렉서블 봉지 재료로써의 금속 박막 특성에 대해 토의한다.