물결구조의 적용을 통한 고신축 봉지재료의 기계적 특성평가

Abstract

유기발광다이오드의 화학적 안정성과 장기 수명을 보장하기 위해는 수분투습도가 낮은 봉지재료가 필수적이다. 고온에서 단결정 실리콘 기판으로부터 산화된 이산화규소는 핀홀과 결함이 없는 고밀도 재료로서 다른 비정질 무기박막에 비해 매우 낮은 수분투습도를 갖는다. 하지만 열적 산화된 이산화규소와 비정질 무기박막은 낮은 탄성한계를 가지고 취성파괴를 나타낸다. 이와 같이 봉지재료의 주 구성 재료의 기계적 특성으로 인해 유기발광다이오드의 유연 혹은 신축성 디스플레이 적용에 어려움이 있다. 따라서 수분 투습도는 매우 낮지만 신축성을 가지는 봉지재료의 개발이 필수적이다. 신축성을 가지는 열적 산화된 이산화규소 박막을 제작하기 위해 물결구조를 적용하였다. 그리고 인장시험을 통해 물결구조가 적용된 열적 산화된 이산화규소 박막의 기계적 특성을 평가하였다. 또한 물결구조의 신축성 향상과 기계적 특성 변화의 분석을 위해 평평한 열적 산화된 이산화규소 박막의 기계적 특성을 분석하였다. 유한요소법 분석을 통해 물결구조의 크기와 박막의 신축성의 상관관계를 분석하였다.