펄스 레이저 증착 방법

Abstract

본 발명의 펄스 레이저 증착방법은 증착대상물과 복수의 증착타겟재료들을 진공 챔버 내부에 배치하는 단계와; 레이저 발생기를 통해 레이저 빔을 발생시키는 단계와; 빔 분해기를 이용하여 상기 레이저 빔을 상기 복수의 증착타겟재료들의 개수에 대응되는 복수 개로 나누어 출력시키는 단계와; 상기 증착대상물의 표면으로부터 거리에 따른 증착층의 구간별, 상기 복수의 증착타겟재료들 각각의 함유량 비율을 결정하는 함량분포함수를 결정하는 단계와, 상기 함량분포함수를 이용하여 상기 복수의 증착타겟재료들 각각의 증착 두께를 결정하는 증착함수를 결정하는 단계와, 상기 증착함수를 이용하여, 상기 복수의 증착타겟재료들 각각이, 시간당 증착되는 두께를 결정하는 증착률을 결정하는 단계와, 상기 증착률에 대응하는 레이저 빔의 출력의 세기를 결정하는 레이저 출력 값을 결정하는 단계, 및 상기 복수의 증착타겟재료들에 대응 되도록 설치되는 복수개의 가변 감쇄기들을 제어하여, 상기 빔 분해기를 통해 복수개로 나누어 출력되는 상기 레이저 빔들을, 상기 레이저 출력 값을 결정하는 단계에서 결정된 레이저의 출력의 세기로 상기 복수의 증착타겟재료들에 집광 조사하는 단계; 및, 상기 레이저 빔의 집광 조사에 의해 각각의 상기 복수의 증착타겟재료에서 발생되는 원자증기가 상기 증착대상물의 표면에 증착하는 단계를 포함한다.

본 발명에 따른 펄스 레이저 증착방법에 의하면, 미리 설계된 증착층의 깊이 및 성분비율대로 증착하는데 필요한 레이저 빔의 출력을 정확하고 용이하게 결정함으로써, 미리 설계된 증착층의 두께와 성분 비율을 정확하게 갖는 경사기능성 필름을 용이하게 제작 할 수 있는 레이저 증착 방법을 제공한다.

이미지존재(전문참조)