그래핀 시트를 이용한 질량 측정 장치 및 질량 측정 방법

Abstract

본 발명은, 미세 질량을 가지는 측정 대상물의 질량을 측정하는 그래핀 시트를 이용하는 질량 측정 장치에 있어서, 상기 그래핀 시트의 특정 위치에는 탄소 공유 결합이 깨어지는 공공(vacancy)이 형성되며, 상기 측정 대상물은 상기 특정 위치에서 탄소 공유 결합이 깨어진 탄소 원자들과의 결합력에 의하여 고정되고, 상기 측정 대상물의 질량은, 상기 측정 대상물이 안착되지 않은 상태에서의 상기 그래핀 시트의 고유 진동수 정보와, 상기 그래핀 시트의 상기 특정 위치에 상기 측정 대상물이 안착된 상태에서 감지된 고유 진동수 정보에 근거하여 예측되는 그래핀 시트를 이용하는 질량 측정 장치를 제공한다.

상기와 같이, 상기 측정 대상물이 그래핀 시트의 공공에 안정적으로 고정된 상태에서 상기 측정 대상물의 질량이 측정되기 때문에, 상기 측정 대상물의 질량에 대한 측정 정확도가 향상된다.