미세 유동 장치 및 미세 유동 장치의 제어설비

Abstract

유체의 흐름을 조정하기 위한 밸브를 보다 간편하고 기계적으로 조작할 수 있도록, 복수의 챔버들이 구비된 플랫폼과, 상기 챔버들 사이를 연결하는 적어도 하나 이상의 유로, 상기 유로를 개폐하는 밸브를 포함하고, 상기 밸브는 상기 유로를 선택적으로 차단하는 차단부재, 상기 차단부재에 설치되어 차단부재를 이동시키는 가압부재를 포함하고, 상기 가압부재는 외력의 방향과 같은 방향으로 직선 왕복 운동하여 차단부재를 눌러 이동시키는 구조이고, 상기 밸브는 가압부재를 이동된 위치에 고정하거나 원위치로 복귀시켜 차단부재에 의한 유로의 개폐를 가역적으로 제어하는 구동부를 더 포함하는 미세 유동 장치를 제공한다.