File Download
There are no files associated with this item.
SFX Link
- Find it @ UNIST can give you direct access to the published full text of this article. (UNISTARs only)
- Hur, Min Sup
- Computational Plasma Lab.
Views & Downloads
Detailed Information
Cited time in 
Cited time in 
Cited time in
Metadata Downloads
라만 산란을 이용한 플라즈마 진단 방법 및 장치
- Alternative Title
- METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING PLASMA RAMAN SCATTERING
- Application Date
- 2014-10-07
- Registration Date
- 2016-10-05
- Application No.
- 10-2014-0134834
- Publication No.
- 10-1664924
- Abstract
- 본 발명은 기설정된 편광 상태로 제어되는 레이저를 진공 챔버 내 가스에 집속시키는 과정과, 상기 레이저의 집속에 대응되는 플라즈마를 생성하는 과정과, 상기 진공 챔버에 설치되어 RF 신호를 제공하는 RF 전원을 이용하여 전자장을 유도하여 생성된 상기 플라즈마를 자화시키는 과정과, 자화된 상기 플라즈마에 입사되는 레이저를 통해 발생되는 산란광을 기반으로 플라즈마 진단 파라미터별 모니터링을 수행하는 과정을 포함함을 특징으로 한다.
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.