복수의 채널주형이 멀티 스케일로 형성된 마이크로프루이딕 칩 주형 제조방법

Abstract

본 발명은 복수의 채널주형이 멀티스케일로 형성된 마이크로플루이딕 칩의 주형을 제조하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 (a)기판의 상면에 제1채널패턴을 형성하는 단계와, (b)상기 (a)단계에 의해 상기 제1채널패턴이 형성된 기판의 상면에 상기 제1채널패턴과 크기가 상이한 제2채널패턴을 형성하는 단계와, (c)상기 (a)단계와 (b)단계에 의해 상기 기판의 상면에 형성된 제1채널패턴과 제2채널패턴을 열분해 하여, 제1탄소채널주형과 제2탄소채널주형으로 변환시켜 마이크로플루이딕 칩 주형을 완성하는 단계가 포함되어, 감광액의 자외선 흡광량을 조절하고, 이를 통해 감광액의 고분자화를 제어함은 물론, 열분해를 통해 마이크로 사이즈와 나노 사이즈 탄소채널패턴이 함께 집적될 수 있도록 하여, 고가의 장비 없이 저가로 일률적인 성능을 지닌 조형을 대량생산 가능하고, 종래의 몰드를 만들 때 필요한 장비만을 사용하기 때문에 추가적인 비용발생이 없으며, 공정이 단순화되어 신뢰도가 향상되고, 균일성이 높아지며, 주형의 제조 및 수정이 용이하고, 수차례에 걸쳐 연속적으로 반영구적으로 사용 가능하기 때문에 매우 효율적이고 경제적인 복수의 채널주형이 멀티스케일로 형성된 마이크로플루이딕 칩의 주형을 제조하는 방법을 제공한다.