본 발명은 레이저를 진공 챔버 내 가스에 집속시키고, 상기 레이저의 집속에 대응되는 플라즈마를 생성하는 과정과, 상기 진공 챔버에 설치되어 RF 신호를 제공하는 RF 전원을 이용하여 전자장을 유도하여 생성된 상기 플라즈마를 자화시키는 과정과, 자화된 상기 플라즈마에 입사되는 레이저를 기설정된 위치에서 충돌하도록 대향시키는 과정과, 대향하는 레이저 충돌을 통해 생성된 플라즈마의 진동에 의해 소정 주파수를 가지는 테라헤르츠파를 발생시키는 과정을 포함함을 특징으로 한다.