산화물 반도체 전사 방법

Abstract

본 발명은 산화물 반도체 전사 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 물의 전기분해를 이용하여 산화물 반도체를 딱딱한 기판뿐만 아니라 투명한 기판 및 플렉서블 기판에 전사하는 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 산화물 반도체를 기판 상에 전사하는 방법은 금속 박막의 상단에 산화물 반도체를 코팅하는 단계, 코팅하지 않은 금속 박막과 코팅한 상기 금속 박막을 수조에 담근 후 코팅한 금속 박막에 (+)극을 연결하며, 코팅하지 않은 금속 박막에 (-)극을 연결한 후 전압을 가하는 단계 및 물의 전기분해에 의해 발생한 수소와 산소로 인해 금속 박막으로부터 분리된 산화물 반도체를 기판 상에 전사하는 단계를 포함한다.