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백정민

Baik, Jeong Min
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나노크기의 원통형 플라즈모닉 메타구조체 제조방법

Alternative Title
Manufacturing Method For Cylindrical Type Plasmonic Meta-Material Structure With Nano-Sized
Author(s)
박준모백정민
Application Date
2013-07-19
Registration Date
2015-03-02
Application No.
10-2013-0085124
Publication No.
10-1499496
URI
https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/71010 Go to Link
Abstract
본 발명에 따르면, 나노크기를 갖는 원통형의 베이스(110)를 직립하게 배치하는 베이스배치 단계(S210); 배치된 베이스(110)로부터 일정거리 이격된 원주상의 일위치(φ1)에서 배치된 베이스(110)를 향해 수평기준선(L1)으로부터 일정각도(θ1)로 경사지게 하향하는 제1증착방향(D1)으로 제1금속물질(120)을 증착시켜 상기 베이스(110)의 상단을 포함하여 상기 제1증착방향(D1)과 대향하는 베이스(110)의 내측면과 외측면에 각각 제1금속물질(120)을 배치하는 제1금속증착 단계(S220); 및 상기 제1금속증착 단계(S220)를 통해 상기 베이스(110)의 상단 둘레에 증착된 제1금속물질(120)을 제거하여 원통형 플라즈모닉 메타구조체(100)를 형성하는 상단부제거 단계(S240);를 포함하는 나노크기의 원통형 플라즈모닉 메타구조체 제조방법을 개시한다.

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