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- Kwon, Soon-Yong
- Frontier, Innovative Nanomaterials & Devices Lab.
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전이금속 칼코젠 화합물의 제조 방법
- Alternative Title
- Method of manufacturing transition metal chalcogen compound
- Application Date
- 2017-11-14
- Registration Date
- 2019-06-20
- Application No.
- 10-2017-0151580
- Publication No.
- 10-1993365
- Abstract
- 본 발명은, 산소에 대한 반응성이 낮고 기화가 방지되는 전이금속 칼코젠 화합물의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 전이금속 칼코젠 화합물의 제조 방법은, 기판을 제공하는 단계; 상기 기판 상에 전이금속을 포함하는 전이금속층을 형성하는 단계; 상기 전이금속층 상에 공융금속합금용 금속층을 형성하는 단계; 상기 공융금속합금용 금속층에 칼코젠을 제공하여 칼코젠 공융금속합금을 형성하는 단계; 및 상기 전이금속이 상기 칼코젠 공융금속합금 내로 확산하여 상기 칼코젠 공융금속합금에 포함된 상기 칼코젠과 상기 전이금속이 결합하여 전이금속 칼코젠 화합물을 형성하는 단계;를 포함한다.
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