회절 위상 현미경 시스템의 동작 방법 및 이를 이용한 회절 위상 현미경 시스템

Abstract

본 발명은 피측정물을 깊이방향과 수평방향으로 분할하여 각각 촬영한 후 합성하도록 하여, 보다 높은 해상도의 피측정물에 대한 정량 위상 이미지를 얻을 수 있도록 하는 회절 위상 현미경 시스템의 동작 방법에 대한 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 회절 위상 현미경 시스템의 동작 방법은, 피측정물이 기설정된 두께로 분할된 복수의 슬라이스들 중 하나의 슬라이스의 표면에, 기설정된 크기를 갖는 복수의 영역들(segments)을 구획하는 구획 단계, 구획된 모든 영역들 각각에 대한 복수의 이차원 이미지들을 생성하는 이차원 이미지 생성 단계, 상기 생성된 모든 영역들 각각에 대한 복수의 이차원 이미지들을 이용하여, 상기 하나의 슬라이스에 대한 정량 위상 이미지를 생성하는 정량 위상 이미지 생성 단계, 상기 복수의 슬라이스들 중 상기 하나의 슬라이스 이외의 나머지 슬라이스들에 대해 상기 구획 단계 내지 상기 정량 위상 이미지 생성단계를 수행하여, 상기 나머지 슬라이스들 각각에 대한 복수의 정량 위상 이미지들을 생성하는 복수의 정량 위상 이미지 생성 단계 및 상기 생성된 모든 슬라이스들 각각에 대한 복수의 정량 위상 이미지들을 재구성하여 상기 피측정물에 대한 삼차원 영상을 생성하는 단계를 포함한다.