지문 압력 듀얼 센서 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은, 높은 투과도 및 높은 전기 전도도를 가지고, 지문과 압력을 동시에 감지하는, 지문 압력 듀얼 센서를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 지문 압력 듀얼 센서는, 기판 상에 배치되고 제1 방향으로 연장된 제1 전극 및 상기 제1 방향으로 서로 마주보도록 배치된 소스 전극과 드레인 전극; 상기 기판 상에 배치되고 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극에 전기적으로 연결된 채널 영역; 상기 기판 상에 배치되고, 상기 제1 전극, 상기 소스 전극, 및 상기 드레인 전극을 덮고, 상기 채널 영역을 노출하는 제1 개구부를 구비하는 제1 유전층; 상기 제1 유전층 상에 배치되고 제2 방향으로 연장된 제2 전극; 상기 제1 유전층 상에 배치되고, 상기 제2 전극을 덮고, 상기 채널 영역을 노출하는 제2 개구부를 구비하는 제2 유전층; 상기 제2 유전층 상에 배치되고 상기 제2 방향으로 연장되고, 상기 채널 영역 상에 상기 채널 영역에 대응하여 배치된 게이트 전극; 및 상기 제2 유전층 상에 배치되고 상기 게이트 전극을 덮는 덮개층;을 포함한다.