미세 유동 장치 및 미세 유동 장치의 제어설비

Abstract

유체 제어를 위한 밸브의 구조를 보다 단순하고 효율적으로 개선하여, 밸브를 보다 간편하고 효과적으로 조작할 수 있도록, 적어도 하나 이상의 챔버가 구비된 플랫폼과, 상기 챔버에 연결되어 유체가 이송되는 적어도 하나 이상의 유로, 상기 유로를 개폐하는 밸브를 포함하고, 상기 밸브는 플랫폼에 설치되는 바디, 상기 바디에 설치되고 유로에 면하여 유로를 선택적으로 차단하는 차단판, 상기 바디 내부에 이동가능하게 설치되어 차단판을 가압하는 가압봉, 상기 바디에 설치되어 가압봉을 차단판 가압 위치에 고정하는 고정부를 포함하는 미세 유동 장치를 제공한다.