전기 수력학을 이용하는 패턴라인 형성용 잉크 토출장치 및 전기 수력학을 이용하여 패턴라인을 형성하는 방법

Abstract

본 발명은 전기 수력학을 이용하는 패턴라인 형성용 잉크 토출장치 및 전기 수력학을 이용하여 패턴라인을 형성하는 방법에 대한 것으로 더욱 상세하게는 진공분위기의 챔버가 필요없고, 패턴라인을 형성할 기판의 크기제한이 없으며, 아주 얇은 패턴라인을 형성하거나 리페어할 수 있고, 다양한 성분의 패턴라인 또는 배선을 별도의 과정없이 손쉽게 형성할 수 있는 전기 수력학을 이용하는 패턴라인 형성용 잉크 토출장치 및 전기 수력학을 이용하여 패턴라인을 형성하는 방법에 대한 것이다.

본 발명의 전기 수력학을 이용하는 패턴라인 형성용 잉크 토출장치는 토출되는 잉크를 저장하는 잉크저장유닛과, 잉크저장유닛과 연결되어 잉크를 토출하는 노즐유닛과, 노즐유닛에서 토출되는 잉크에 의해 패턴라인이 형성되는 기판이 놓여지는 스테이지와, 기판과 노즐유닛 사이에 전기장을 형성하여 노즐유닛으로부터 잉크가 토출되도록 노즐유닛에 전원을 공급하는 전원공급유닛과, 기판에 대해 미리 설정된 형태의 패턴라인이 기판에 형성되도록 전원공급유닛, 노즐유닛 및 스테이지를 포함하여 패턴라인 형성용 잉크 토출장치를 제어하는 제어유닛을 포함한다.

본 발명의 전기 수력학을 이용하는 패턴라인 형성용 잉크 토출장치 및 패턴라인을 형성하는 방법에 따르면 진공분위기의 챔버 없이도 미세한 패턴라인의 형성 및 배선 리페어를 수행할 수 있고, 배선 리페어 시 열 발생이 적어 기판 및 하부막 재료의 열손상, 미세한 갈라짐이 없어 단차피복성이 우수하며, 레이저에 의한 가공열이 발생하지 않으므로 주변부에 부수적으로 증착되는 부산물이 발생하지 않고, 기판의 면적 및 재질에 상관없이 빠르고 효율적으로 패턴라인의 형성 및 배선 리페어를 수행할 수 있는 효과가 있다.