File Download

There are no files associated with this item.

  • Find it @ UNIST can give you direct access to the published full text of this article. (UNISTARs only)
Related Researcher

김주영

Kim, Ju-Young
Read More

Views & Downloads

Detailed Information

Cited time in webofscience Cited time in scopus
Metadata Downloads

유연소자 봉지재용 금속산화막의 인장특성 및 신축성 평가

Author(s)
김한글김나향김주영
Issued Date
2017-10-25
URI
https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/38124
Citation
2017년 대한금속재료학회 추계학술대회
Abstract
최근 유연소자에 대해서 연구를 활발해 지면서, 유연소자를 위한 봉지재료의 필요성도 같이 대두되고 있다. 봉지재료는 소자를 외부환경으로 보호하며, 전기적으로 절연 시켜주는 역할을 한다. 특히, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode)와 같이 유연성은 좋으나 수분에 매우 취약한 소자에서는 소자의 봉지공정이 필수적이다. 다양한 봉지재료 중 얇지만 투명하고 수분투습도가 매우 낮은 봉지재료에 대한 연구가 진행되고 있다. 그 중에 금속산화막은 얇고 투명하지만 밀도가 높아 수분투습도가 낮아 차세대 봉지재료로 많이 연구되고 있다. 특히, 실리콘 단결정 웨이퍼에 열적 산화를 시켜서 성장시킨 이산화규소(Silicon dioxide) 경우, 다른 산화막에 비해, 밀도가 매우 높고, 공동(pin hole)과 결함(defect)가 거의 없어서, 얇은 두께에서 낮은 굽힘 저항성(flexural rigidity)과 매우 낮은 수분투습도를 가진다. 하지만 이러한 장점에도 불구하고 열적 산화된 이산화규소는 단일막으로 얻기 어려워 일축인장 시험에 어려움이 있고, 매우 낮은 파괴변형점과 신축성을 가지는 특성 때문에 상용화에 쉽게 다가가지 못하고 있다. 따라서 최근 연구에서는 항복변형점이 낮은 박막의 신축성을 향상시키기 위해서, 물결모양기판 위에 박막을 증착시켜 신축성을 향상시키고, 기판의 물결의 특징(파장, 진폭)과 박막의 항복변형점에 따른 신축성의 상관관계가 보고되었다. 따라서 본 연구에서는, 열적으로 성장시킨 이산화규소 단일막의 일축인장시험에 초점을 두어, 단일막의 항복강도와 항복변형점을 파악하고 물결모양기판에 적용하여 진폭/파장 같은 물결 모양구조를 변형시키고, 그에 따른 신축성 변형에 대해서 분석하였다.
Publisher
대한금속재료학회

qrcode

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.