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2015-09-11이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법문우영; 양호식; 정훈의; 울산과학기술원 / (주)엠프리시젼Patent714
2016-05-03이송장치용 흡착패드 및 이를 구비하는 이송장치정훈의; 울산과학기술원 / (주)엠프리시젼Patent910
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