스트레처블 봉지재료용 비정질 금속 박막 합성 및 기계적 물성 평가

Abstract

최근 디바이스 시장은 벤더블/롤러블을 거쳐 스트레쳐블 특성에 대한 연구가 이루어 지고 있다. 스트레쳐블 디바이스는 두 방향 이상으로 변형 할 수 있으며, 변형 후 본 형태로 돌아 갈수 있어 웨어러블 디바이스와 접목해 사용 되는 등 응용범위가 무한하다고 할 수 있다. 글래스 리드의 경우 수분 및 산소 투습 방지 효과는 뛰어나지만 깨지기 쉽고, 원자층 증착법을 이용한 무기물 재료와 유기층을 반복 적층하는 다층봉지박막의 경우 공정 비용 또는 공정 시간으로 인한 수율 측면에서 상용화에 한계점이 있다. 특히 유기물 재료를 기반으로 하고 있는 소자의 경우 수분과 산소에 의해 나타나는 산화를 방지하기 위해 봉지막 구조가 필수적인데, 스트레처블로 적용되기 위해서는 봉지막 재료에서도 스트레처블 특성이 요구된다. 따라서 본 연구에서는 수분과 산소를 차단함으로써 소자의 산화를 보호 할 뿐만 아니라 기계적 충격으로부터 보호가 가능한 스트레처블 봉지박막을 개발하였다. 상온 공정 및 대면적화가 가능한 스퍼터링을 이용하여 비정질금속박막을 제조하고 봉지특성 평가를 위해 칼슘 부식테스트를 이용하여 수분투과율을 측정하였다. 또한 실시간 나노인장 시험을 통해 기계적 거동을 분석하였다.