펄스 레이저 증착장치 및 이를 이용한 증착방법

Abstract

본 발명은, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부, 증착대상물과, 증착대상물에 증착될 복수 종류의 증착타겟재료들이 배치되는 진공 챔버, 레이저 발생부에서 발생되는 레이저 빔을, 증착타겟재료에 대응되는 복수 개의 레이저 빔들로 나누는 빔 분해기, 증착타겟재료에 대응되게 복수 개가 설치되며, 빔 분해기에 의해 나누어져 유입되는 레이저 빔들을 복수 개의 증착타겟재료들에 각각 집광 조사시키는 렌즈부들을 포함하는 펄스 레이저 증착장치를 제공한다.

이와 같이, 펄스 레이저 증착장치 및 이를 이용한 증착방법은, 진공 챔버 내부에 복수 종류의 증착타겟재료들을 배치한 상태에서, 레이저 발생부로부터 발생된 레이저 빔을 빔 분해기로 증착타겟재료 개수에 대응되게 나눈 후, 가변감쇄기들을 통해 시간에 따라 출력이 각각 변화되는 상태로 증착타겟재료들에 집광 조사되게 한다. 따라서, 증착타겟재료들에서 발생되는 원자증기가 증착대상물에 증착되면서 발생되는 증착층은, 깊이에 따라 복수 종류의 증착타겟재료들의 성분비율이 변화하는 다층으로 형성되는 바, 상호 접촉 강도가 낮은 증착타겟재료들도 증착대상물에 안정적으로 증착할 수 있게 된다.