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- Shin, Heungjoo
- Micro/Nano Integrated Systems Lab.
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.assignee | 울산과학기술원 | - |
| dc.contributor.author | 신흥주 | - |
| dc.contributor.author | 임영진 | - |
| dc.contributor.author | 허정일 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T20:08:31Z | - |
| dc.date.application | 2011-12-29 | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T20:08:31Z | - |
| dc.date.registration | 2014-03-03 | - |
| dc.description.abstract | (a) 전극영역에 절연층을 형성하는 단계; (b) 상기 절연층 상에 1차 포토레지스트를 코팅하는 단계; (c) 1차 포토마스크를 통하여 상기 제1 전극영역을 1차 노광하는 단계; (d) 상기 제1 전극영역을 제외한 나머지 부분을 현상하여 제거하는 단계; (e) 상기 (d) 단계 후 상기 1차 전극영역 및 상기 절연층 상부에 2차 포토레지스트를 코팅하는 단계; (f) 상기 제2 전극영역을 2차 포토마스크를 통하여 2차 노광하는 단계; (g) 상기 제2 전극영역 사이의 포토레지스트 상부를 와이어 형태의 포토마스크를 통하여 상기 제2 전극영역을 연결하는 마이크로 사이즈의 와이어 형태로 3차 노광하는 단계; (h) 상기 (c), (f) 및 (g) 단계에 노광된 부분을 제외한 나머지 부분의 포토레지스트를 현상 제거하는 단계; 및 (i) 상기 1차 및 제2 전극영역 및 상기 와이어를 열분해하여 메시(mesh)형상으로 중첩된 탄소 전극과 탄소 와이어를 형성하는 단계를 포함하는 바이오 센서 제조 방법이 개시된다. 상기 방법에 의하여 감지성이 향상되고, 크기 및 부피가 감소된 중첩형 탄소 마이크로/나노구조의 바이오 센서가 제공된다. | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2011-0146152 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1371824 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/71577 | - |
| dc.title.alternative | MANUFACTURING METHOD FOR BIO SENSOR | - |
| dc.title | 바이오 센서 및 그 제조방법 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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