바이오 센서 및 그 제조 방법

Abstract

(a) 전극영역에 절연층을 형성하는 단계; (b) 상기 절연층 상에 1차 포토레지스트를 코팅하는 단계; (c) 1차 포토마스크를 통하여 상기 제1 전극영역을 1차 노광하는 단계; (d) 상기 제1 전극영역을 제외한 나머지 부분을 현상하여 제거하는 단계; (e) 상기 (d) 단계 후 상기 1차 전극영역 및 상기 절연층 상부에 2차 포토레지스트를 코팅하는 단계; (f) 상기 제2 전극영역을 2차 포토마스크를 통하여 2차 노광하는 단계; (g) 상기 제2 전극영역 사이의 포토레지스트 상부를 와이어 형태의 포토마스크를 통하여 상기 제2 전극영역을 연결하는 마이크로 사이즈의 와이어 형태로 3차 노광하는 단계; (h) 상기 (c), (f) 및 (g) 단계에 노광된 부분을 제외한 나머지 부분의 포토레지스트를 현상 제거하는 단계; (i) 상기 1차 및 제2 전극영역 및 상기 와이어를 열분해하여 탄소 전극과 탄소 와이어, 탄소 탐침을 형성하는 단계 및 (j) 상기 탄소 와이어 상에 패시베이션층을 형성하는 단계를 포함하는 바이오 센서 제조 방법 및 바이오 센서가 개시된다. 상기 방법에 의하여 센서의 감지성이 향상된 바이오 센서가 제공된다.