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- Shin, Heungjoo
- Micro/Nano Integrated Systems Lab.
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.assignee | 울산과학기술원 | - |
| dc.contributor.author | 신흥주 | - |
| dc.contributor.author | 임영진 | - |
| dc.contributor.author | 허정일 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T20:08:24Z | - |
| dc.date.application | 2012-07-25 | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T20:08:24Z | - |
| dc.date.registration | 2015-03-26 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 열분해공정을 통하여 마이크로 구조를 나노구조로 변형하여 카본스탬프를 형성하고, 이를 이용하여 나노구조물을 형성함으로써 보다 용이하게 나노구조를 형성하는 나노구조물 형성방법을 제공하기 위한 것으로, 마이크로구조의 제1포토레지스트층이 상측에 형성된 마스터스탬프를 형성하는 단계; 상기 마스터스탬프를 열분해하여 나노구조가 상측에 형성된 카본스탬프를 형성하는 단계; 상기 카본스탬프로 제2기판 상에 적층된 제2포토레지스트층을 가압하여 나노구조물을 형성하는 단계; 상기 카본스탬프를 제거하는 단계를 포함하는 나노구조물 형성방법을 제공한다. | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2012-0081267 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1508040 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/71567 | - |
| dc.title.alternative | METHOD FOR FORMING NANO STRUCTURE | - |
| dc.title | 나노구조물 형성방법 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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