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- Shin, Heungjoo
- Micro/Nano Integrated Systems Lab.
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.assignee | 울산과학기술원 | - |
| dc.contributor.author | 임영진 | - |
| dc.contributor.author | 신흥주 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T20:06:55Z | - |
| dc.date.application | 2015-10-28 | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T20:06:55Z | - |
| dc.date.registration | 2016-10-05 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 기판의 일면에 형성된 제1절연층; 상기 제1절연층의 표면에 형성되며, 탄소와이어 및 상기 탄소와이어의 양 단을 지지하는 한 쌍의 탄소전극을 포함하는 히터부; 상기 탄소와이어의 표면에 형성된 제2절연층; 상기 제2절연층의 표면에 형성된 금속산화물 씨앗층 및 상기 금속산화물 씨앗층의 표면에 형성된 금속산화물나노와이어를 포함하는 센서부; 상기 탄소전극과 접하며, 상기 히터부에 전원 연결을 위한 히터부 전극; 및 상기 센서부와 접하되, 상기 히터부 전극과 이격 배치되며, 센서부 전원 연결 및 전류 측정을 위한 센서부 전극;을 포함하는 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2015-0149875 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1665020 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/71432 | - |
| dc.title.alternative | GAS SENSOR and Method for Manufacturing GAS SENSOR | - |
| dc.title | 가스센서 및 그 제조방법 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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