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- Park, Jang-Ung
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.assignee | 울산과학기술원 | - |
| dc.contributor.author | 박장웅 | - |
| dc.contributor.author | 안병완 | - |
| dc.contributor.author | 김주희 | - |
| dc.contributor.author | 이희주 | - |
| dc.contributor.author | 김겸욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T20:06:45Z | - |
| dc.date.application | 2013-01-25 | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T20:06:45Z | - |
| dc.date.registration | 2014-01-14 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은, 미세 패턴의 정확성과 균일성을 제공하고, 미세 패턴 제조 공정을 단순화할 수 있는 포토마스크 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 포토마스크 제조 방법은, 포토마스크용 기판을 전기수력학적현상을 이용한 프린팅 장치의 노즐의 하측에 위치시키는 단계; 노즐에 공압 부재를 이용하여 공기압을 제공하는 단계; 노즐에 전기수력학적현상이 발생되도록, 전원으로부터 전압을 노즐에 인가하는 단계; 및 노즐로부터 전기수력학적현상을 이용하여 패턴용 잉크를 토출시켜 상기 포토마스크용 기판 상에 패턴을 프린팅하는 단계;를 포함한다. | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2013-0008388 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1353389 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/71413 | - |
| dc.title.alternative | Method of manufacturing photomask using electrohydrodynamic phenomena and photomask manufactured using the same | - |
| dc.title | 전기수력학적현상을 이용한 포토마스크 제조 방법 및 그를 이용하여 제조한 포토마스크 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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