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- Choi, Kyoung Jin
- Energy Conversion Materials Lab.
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.assignee | 울산과학기술원 | - |
| dc.contributor.author | 최경진 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T19:39:13Z | - |
| dc.date.application | 2012-08-14 | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T19:39:13Z | - |
| dc.date.registration | 2014-08-12 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 나노와이어를 이용하여 기판에 나노 패턴을 형성시켜 제조단가를 저감할 수 있는 나노와이어 소자 제조 방법을 제공하는 것에 그 목적이 있다. 상기의 목적 달성을 위하여 본 발명은, 기판 상에 제1나노와이어를 생성하는 제1단계; 상기 기판 상단에 제1나노와이어의 길이보다 작은 절연막을 형성하는 제2단계; 상기 제1나노와이어를 제거하여 절연막에 의한 나노패턴을 형성하는 제3단계; 상기 나노패턴의 홀에 제2나노와이어 코어부를 형성하는 제4단계; 상기 제2나노와이어 코어부 표면에 쉘부를 형성하는 제5단계; 및 상기 제2나노와이어 쉘부의 상단을 서로 연결하는 전극을 형성하는 제6단계를 포함한다. |
- |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2012-0089170 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1431820 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/71134 | - |
| dc.title.alternative | Fabrication method for nanowire device | - |
| dc.title | 나노와이어 소자 제조 방법 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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