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- Jeong, Hoon Eui
- Multiscale Biomimetics and Manufacturing Lab.
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.assignee | 울산과학기술원 / (주)엠프리시젼 | - |
| dc.contributor.author | 문우영 | - |
| dc.contributor.author | 양호식 | - |
| dc.contributor.author | 정훈의 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T19:38:21Z | - |
| dc.date.application | 2014-01-17 | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T19:38:21Z | - |
| dc.date.registration | 2015-09-11 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은, 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법에 관한 것으로, 이송 대상물을 설정 위치로 이동시키기 위해 로봇 암에 상기 이송 대상물을 안착시키는 단계; 상기 로봇 암에 상호 이격되어 복수 개 구비된 접착 패드들이 상기 이송 대상물에 접착하는 단계; 상기 이송 대상물이 안착된 상기 로봇 암이 이동하여 상기 적층 컨테이너의 내부로 인입되는 단계; 및 상기 이송 대상물을 상기 적층 컨테이너 내부에 안착시키고, 상기 이송 대상물과 상기 이송 대상물에 접착된 상기 접착 패드들이 분리되는 단계를 포함한다. | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2014-0006270 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1553826 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/71071 | - |
| dc.title.alternative | transfer device and transfer method using the same | - |
| dc.title | 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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