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Jeong, Hoon Eui
Multiscale Biomimetics and Manufacturing Lab.
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dc.contributor.assignee 울산과학기술원 - 황인솔 - 정훈의 - 2024-01-23T19:36:19Z - 2017-01-12 - 2024-01-23T19:36:19Z - 2018-08-08 -
dc.description.abstract 본 발명은, 초박막 건식접착 필름에 관한 것으로, 웨이퍼 상에 복수 개의 미세섬모들에 대응되는 홈부들이 형성된 몰드를 배치하고 액상의 합성수지를 도포하여 경화시키는 단계; 제1 수지필름 상에 제2 수지필름을 배치 후 고정시키는 단계; 경화된 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 표면 처리하는 단계; 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 가교시키는 단계; 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계; 및 상기 웨이퍼 및 상기 몰드, 상기 제1 수지필름을 제거하는 단계를 포함한다. -
dc.identifier.patentApplicationNumber 10-2017-0005312 -
dc.identifier.patentRegistrationNumber 10-1888615 -
dc.identifier.uri -
dc.title.alternative Ultra thin dry adhesive film and manufacturing method thereof -
dc.title 초박막 건식접착 필름 및 이의 제조방법 -
dc.type Patent - KO -
dc.type.iprs 특허 -


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