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- Choi, Kyoung Jin
- Energy Conversion Materials Lab.
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반도체 기판의 텍스쳐링 방법, 이 방법에 의해 제조된 반도체 기판 및 이를 포함하는 디바이스
- Alternative Title
- METHOD FOR TEXTURING OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, SEMICONDUCTOR SUBSTRATE MANUFACTURED BY THE METHOD AND DEVICE COMPRISING THE SAME
- Application Date
- 2016-06-15
- Registration Date
- 2017-08-28
- Application No.
- 10-2016-0074557
- Publication No.
- 10-1773951
- Abstract
- 본 발명은 텍스처링된 반도체 기판에 있어서, 상기 반도체 기판이 텍스쳐링된 포물선형 구조체와 상기 포물선형 구조체의 표면과 상기 반도체 기판의 표면을 포함하는 전체 표면에는 일정 간격의 나노홀 구조를 구비하되, 상기 포물선형 구조체의 표면에는 복수의 나노홀 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 텍스처링된 반도체 기판을 제공한다.
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