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- Jang, Ji-Hyun
- Structures & Sustainable Energy Lab.
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.assignee | 울산과학기술원 | - |
| dc.contributor.author | 김광현 | - |
| dc.contributor.author | 장지현 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T19:05:47Z | - |
| dc.date.application | 2017-02-21 | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T19:05:47Z | - |
| dc.date.registration | 2019-01-10 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 폴리헤드랄 올리고머 실세스퀴옥산(POSS) 기반의 고투명성 포토레지스트 및 이를 이용한 초후막 3D 나노구조체에 관한 것으로서, 상기 포토레지스트는 (a) 에폭시기를 함유하는 아크릴 단위, 및 (b) POSS기를 함유하는 아크릴 단위를 반복단위로서 갖는 공중합체를 포함한다. | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0022839 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1939358 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/70262 | - |
| dc.title.alternative | HIGHLY TRANSPARENT POSS-BASED PHOTORESIST FOR ULTRATHICK 3D NANOSTRUCTURES | - |
| dc.title | 초후막 3D 나노구조체를 위한 POSS 기반의 고투명성 포토레지스트 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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