dc.contributor.assignee |
울산과학기술원 / 서울대학교 산학협력단 / (재)멀티스케일 에너지시스템 연구단 |
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dc.contributor.author |
권동일 |
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dc.contributor.author |
박선영 |
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dc.contributor.author |
김시훈 |
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dc.contributor.author |
우정현 |
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dc.contributor.author |
김나향 |
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dc.contributor.author |
김한글 |
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dc.contributor.author |
김주영 |
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dc.contributor.author |
안승민 |
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dc.date.accessioned |
2024-01-23T18:39:32Z |
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dc.date.application |
2017-09-22 |
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dc.date.available |
2024-01-23T18:39:32Z |
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dc.date.registration |
2020-06-09 |
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dc.description.abstract |
본 발명에 따른 비정질 금속 박막으로 형성된 유연 봉지재료는, 구리와 지르코늄을 스퍼터링에 의해 디바이스의 표면에 증착되어, 결정립이 없는 비정질 구조를 가지며 나노 사이즈 두께의 박막으로 형성됨으로써, 수분 차단 특성이 우수하고 신축성 있는 디바이스에도 적용가능한 이점이 있다. |
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dc.identifier.patentApplicationNumber |
10-2017-0122445 |
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dc.identifier.patentRegistrationNumber |
10-2122775 |
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dc.identifier.uri |
https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/70162 |
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dc.title.alternative |
Flexible encapsulating material using amorphous metal thin film and its manufacturing method |
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dc.title |
비정질 금속 박막으로 형성된 유연 봉지재료 및 이의 제조방법 |
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dc.type |
Patent |
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dc.publisher.country |
KO |
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dc.type.iprs |
특허 |
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