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- Lee, Ki-Suk
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Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.assignee | 울산과학기술원 / 한국과학기술연구원(KIST) | - |
| dc.contributor.author | 백승협 | - |
| dc.contributor.author | 길태현 | - |
| dc.contributor.author | 김상현 | - |
| dc.contributor.author | 최원준 | - |
| dc.contributor.author | 이기석 | - |
| dc.contributor.author | 백정민 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T18:38:08Z | - |
| dc.date.application | 2017-05-19 | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T18:38:08Z | - |
| dc.date.registration | 2020-01-07 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 페롭스카이트 구조(Perovskite structure)의 산화물 상에 이산화바나듐(VO2)을 증착함으로써 tetragonal VO2 결정상의 이산화바나듐 박막을 성장시킬 수 있는 마이크로볼로미터용 저항체 박막 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 마이크로볼로미터용 저항체 박막은 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판 상에 형성된 페롭스카이트 구조의 산화물 박막; 및 상기 페롭스카이트 구조의 산화물 박막 상에 형성된 tetragonal 결정상의 이산화바나듐(VO2) 박막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0062411 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2065528 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/70057 | - |
| dc.title.alternative | Thin film structure for Micro-bolometer and method for fabricating the same | - |
| dc.title | 마이크로볼로미터용 저항체 박막 및 그 제조방법 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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