dc.contributor.assignee |
울산과학기술원 / (주)프런티어에너지솔루션 |
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dc.contributor.author |
강동우 |
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dc.contributor.author |
노성호 |
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dc.contributor.author |
김동제 |
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dc.contributor.author |
석상일 |
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dc.date.accessioned |
2024-01-23T17:36:19Z |
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dc.date.application |
2018-06-21 |
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dc.date.available |
2024-01-23T17:36:19Z |
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dc.date.registration |
2019-10-25 |
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dc.description.abstract |
본 발명의 일 측면에 따르면, 일면에 기판이 안착될 수 있고, 가장자리를 따라 하나 이상의 홀을 갖는 척부와, 상기 척부의 상부에 배치되어 상기 기판 상에 레이저빔을 조사할 수 있는 레이저빔 발진부와, 상기 척부에 배치되어 상기 기판의 적어도 하나의 코너를 지지하는 코너 지지부와, 상기 척부에 연결되어 상기 하나 이상의 홀들을 통해 공기를 흡입하는 석션부를 구비하는, 레이저 가공 장치가 제공된다. |
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dc.identifier.patentApplicationNumber |
10-2018-0071644 |
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dc.identifier.patentRegistrationNumber |
10-2039037 |
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dc.identifier.uri |
https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/68861 |
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dc.title.alternative |
Laser processing apparatus and method for manufacturing solar cell using the same |
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dc.title |
레이저 가공 장치 및 이를 이용한 태양 전지 제조 방법 |
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dc.type |
Patent |
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dc.publisher.country |
KO |
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dc.type.iprs |
특허 |
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