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Ki, Hyungson
Laser Processing & Multiphysics Systems Laboratory
Research Interests
  • Laser materials processing
  • Laser material interaction

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레이저를 이용한 그래핀 필름 제조장치 및 이의 제조방법

DC Field Value Language
dc.contributor.author 이근희 ko
dc.contributor.author 기형선 ko
dc.date.available 2018-02-06T09:47:26Z -
dc.date.issued 2017-09-15 ko
dc.identifier.other 86 -
dc.identifier.uri https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/23353 -
dc.description.abstract 본 발명은 상측에 무정형 탄소가 증착되는 기판; 상기 기판의 상측에 구비되어 상기 무정형 탄소에 레이저 빔을 조사하는 레이저 발생부; 및 상기 레이저 발생부 측면 또는 주위에 배치되어 상기 무정형 탄소에 실드 가스를 분사하는 가스공급부를 포함하는 레이저를 이용한 그래핀 형성 장치를 제공한다. 따라서 무정형 탄소가 증착된 기판 상에 레이저를 조사하여 다양한 패턴을 가지는 그래핀을 균일하게 형성할 수 있다. 투명한 기판에 대면적으로 그래핀 필름을 형성하는 경우에 투명 전극, 투명 발열 필름 및 전자기파 차폐용 투명 필름 등의 용도로 사용할 수 있다. ko
dc.description.statementofresponsibility close -
dc.subject.classification 전자부품,영상,음향및통신장비제조업 -
dc.subject.classification 재료 -
dc.subject.classification 반도체및기타전자부품제조업 -
dc.subject.classification 재료 공정기술 -
dc.title 레이저를 이용한 그래핀 필름 제조장치 및 이의 제조방법 ko
dc.title.alternative Apparatus and method for fabricating Graphene films using a laser ko
dc.type Patent ko
dc.type.rims PAT ko
dc.identifier.patentRegistrationNumber 10-1780441 ko
dc.date.application 2015-07-28 ko
dc.identifier.patentApplicationNumber 10-2015-0106575 ko
dc.type.iprs 특허 ko
dc.date.registration 2017-09-15 ko
dc.publisher.country KO ko
dc.contributor.assignee 울산과학기술원 ko
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