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Shin, Heungjoo
Micro/Nano Integrated Systems (MNIS) Lab
Research Interests
  • Carbon-MEMS
  • Nanofabrication
  • Gas sensors
  • Biosensors
  • Electrochemical sensors
  • SPM

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가스센서 및 그 제조방법

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Title
가스센서 및 그 제조방법
Other Titles
GAS SENSOR and Method for Manufacturing GAS SENSOR
Author
임영진신흥주
Country
KO
Application Date
2015-10-28
Registration Date
2016-10-05
Application No.
10-2015-0149875
Registration No.
10-1665020
Abstract
본 발명은 기판의 일면에 형성된 제1절연층; 상기 제1절연층의 표면에 형성되며, 탄소와이어 및 상기 탄소와이어의 양 단을 지지하는 한 쌍의 탄소전극을 포함하는 히터부; 상기 탄소와이어의 표면에 형성된 제2절연층; 상기 제2절연층의 표면에 형성된 금속산화물 씨앗층 및 상기 금속산화물 씨앗층의 표면에 형성된 금속산화물나노와이어를 포함하는 센서부; 상기 탄소전극과 접하며, 상기 히터부에 전원 연결을 위한 히터부 전극; 및 상기 센서부와 접하되, 상기 히터부 전극과 이격 배치되며, 센서부 전원 연결 및 전류 측정을 위한 센서부 전극;을 포함하는 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
URI
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https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/20859
Classification
의료,정밀,광학기기및시계제조업; 기계; 측정,시험,항해및기타정밀기기제조업; 광학기기제외
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