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Baik, Jeong Min
Nano Energy and Environmental Materials Lab
Research Interests
  • Nanogenerators, antimicrobial material, catalysis, smart sensors

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GAN 기반 다공성 피라미드 광전극 및 그 제조방법

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Title
GAN 기반 다공성 피라미드 광전극 및 그 제조방법
Other Titles
POROUS PYRAMID PHOTOELECTRODE BASED GaN AND METHOD
Author
백정민박준모
Country
KO
Application Date
2015-01-13
Registration Date
2016-10-10
Application No.
10-2015-0005959
Registration No.
10-1666378
Abstract
본 발명에 따른 GaN 기반 다공성 피라미드 광전극 제조방법은 (a) 기판상에 GaN를 전기화학식각으로 다공성 나노구조체를 형성하는 단계; (b) 상기 다공성 나노구조체에 SiO2 마이크로스피어, 혹은 Photolithography 공정을 통해 상기 피라미드 구조로 마이크로 패터닝을 수행하는 단계; (c) 상기 `(b)`단계에서 패터닝된 피라미드 구조대로 건식식각공정을 통해 상기 다공성 나노구조체를 식각하는 단계; (d) 상기 `(c)`단계에서 식각공정을 통해 형성된 다공성 피라미드 구조에 나노입자(202)가 포함된 용액을 도포하는 단계; 및 (e) 상기 나노입자(202)가 상기 다공성 피라미드 구조 내부로 들어가 고정될 수 있도록, 상기 다공성 피라미드 구조를 건조하는 단계;를 포함하여, 반사율과 내부 화학물질 수소효율을 향상시키는 효과가 있다.
URI
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https://scholarworks.unist.ac.kr/handle/201301/20833
Classification
전기,가스및증기업; 재료; 가스제조및배관공급업; 나노재료; 가스제조및배관공급업
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MSE_Patents
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