Plasma Display Panel용 순수 현상형 감광성 격벽 Paste 및 Photolithography 공정 특성

Abstract

PDP에 있어서 격벽(barrier rib)은 일정한 선폭과 높이를 가져 균일한 방전공간을 제공하고, 인접한 셀간의 전기적, 광학적 혼선(crosstalk)을 방지하는 역할을 한다. 이와 같은 역할을 수행하기 위해서 격벽의 요구사항은 균일성, 형상 정도, 낮은 아웃개성, 낮은 기공, 높은 종횡단비, 해상도 등이 뛰어나야한다. 본 연구에서는 고정세 대화면 PDP에 적합한 순수현상 감광성 격벽 paste의 formulation 및 이를 이용한 photolithography 공정 특성에 대해 조사하였다. 감광성 격벽 페이스트는 바인더 고분자인 히드록시프로필 셀룰로오즈를 3MMB 용매에 20 wt%로 용해한 다음 관능성 단량체로서 EB600/PETA=50/50 wt% 혼합물, 광개시제로서 HSP 188 및 격벽 분말을 도입한 다음 전체를 균일하게 분산시켜 제조하였다. 감광성 격벽 페이스트의 각 성분, 조성, 및 공정을 최적화하여 소성 후 높이 110 μm, 선폭 80 μm 및 핏치 420 μm 격벽 형상을 사진식각법으로 얻을 수 있었다.