Fabrication of Lipid Sensor Utilizing Photosensitive Water Soluble Polymer

Abstract

Si3N4 박막의 코팅된 pH-ISFET의 게이트 부위 위에 lipase 효소를 고정화하여 FET(field effect transistor) 형지질(lipid) 센서를 제조하였다. 효소 고정화막 형성 물질로는 수용성 고분자인 polyvinyl alcohol(PVA)에 감광성기인 1-methyl-4-(formylstyryl) pyridinium methosulfate(SbQ)를 결합시킨 PVA-SbQ를 사용하였다. PVA-SbQ 수용액 (SbQ 1mole %, 10 wt%) 200μL , bovine serum albumin (BSA) 7.5 mg, lipase 10 mg으로 구성 된 현탁액을 사용한 사진식각(photolithographic) 공정의 최적 조건은 피막의 상온 진공 건조 시간 45분, spin coater의 회전수 5,000∼6,000 rpm, UV 노광시간 20∼30 초, 증류수 현상 시간 30∼40 초로 나타났다. 이렇게 구성된 지질 센서는 triacetin을 지질 시료로 하였을 때 10∼100 mM의 농도 범위에서 직선성의 검정선을 나타내었다.