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Browsing by Author : Park, Young-Bae

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후속열처리 및 고온고습 조건에 따른 Cu 배선 확산 방지층 적용을 위한ALD RuAlO 박막의 계면접착에너지에 관한 연구 File

Lee, Hyeonchul , Jeong, Minsu , Bae, Byung-Hyun , Cheon, Taehun , Kim, Soo-Hyun , Park, Young-Bae

Article Issue Date2016-06 View15
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