미세입자 및 미생물 분류를 위한 다단 높이의 몰드 제조방법

Abstract

본 발명은 마이크로 및 나노 단위의 미세입자 및 미생물을 크기별로 분류하는 몰드의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 a)색소 농도가 서로 상이한 염료가 각각 충진되는 복수의 챔버가 형성된 염료포토마스크를 준비하는 단계와, b)글라스웨이퍼에 양각형 감광액을 도포하고, 상기 글라스웨이퍼 하측에 양각형 감광액을 위치시키는 단계와, c)상기 글라스웨이퍼 상측에 상기 a)단계에 의해 준비된 염료포토마스크 위치한 후 노광시켜, 상기 염료포토마스크의 색소농도가 다른 염료에 상응하여 각각의 길이가 차별적인 양각돌기가 다단으로 형성되는 제2주형을 제조하는 단계와, d)상기 c)단계에 의해 제조된 제2주형에 PDMS(Polydimethylsiloxane)의 액화 전구체를 붓고, 상기 제2주형의 양각돌기들에 대응되며, 미세입자를 분류하는 높이가 다른 복수의 미세채널이 형성된 제2주물을 조형하는 단계와, e)상기 d)단계에 의해 조형된 상기 제2주물을 제2주형에서 분리한 후 상기 제2주물에 슬라이드판을 본딩하여 몰드를 완성하는 단계로 이루어져, 종래의 포토리소그래피 공정을 이용하여 고가의 장비없이 저가로 제작 가능하고, 최소한의 포토마스크를 사용하고, 단일 감광제를 사용하기 때문에 제작이 간편하고 용이하며, 색소의 농도를 조절함에 따라 감광제의 퇴적높이를 자유롭게 구현할 수 있고, 제작된 염료포토마스크는 수정이 용이하며, 반영구적으로 사용가능하고, 3차원 마이크로 구조를 가진 장치 제작 공정에 쉽게 접목할 수 있는 미세입자 분류 몰드 제조방법을 제공한다.