태양전지의 비반사막 제조방법

Abstract

본 발명에 따른 태양전지의 비반사막 제조방법은 (a) 준비된 기판에 ZnS 및 Al을 증착하여 씨드 층(Seed layer)을 형성하는 단계; (b) 씨드 층 표면을 표면처리 하는 단계; (c) ZnS와 Al층이 증착된 씨드 층 표면에 산화아연으로 이루어진 나노시트를 형성하는 단계; 및 (d) 씨드 층 표면 상부에 형성된 산화아연 나노시트에 MgF2를 증착하는 단계;를 포함하여, 산화아연 Seed 층 없이 ZnO 나노시트를 성장할 수 있는 효과가 있고, 산화아연 나노시트에 MgF2를 증착하여 태양전지의 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.