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- Baik, Jeong Min
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박막형 적외선 흡수체 제조방법
- Alternative Title
- METHOD FOR THIN FILM INFRARAD ABSORBER MATERIAL
- Application Date
- 2015-05-08
- Registration Date
- 2016-12-02
- Application No.
- 10-2015-0064370
- Publication No.
- 10-1684383
- Abstract
- 본 발명에 따른 박막형 적외선 흡수체 제조방법은 (a) 글라스 기판을 준비하는 단계; (b) 글라스 기판 표면에 Ti를 증착하여 금속층을 형성시키는 단계; (c) 금속층 표면에 MgF2를 증착하여 유전체층을 형성시키는 단계; 및 (d) Ti와 MgF2의 증착을 복수 회 반복 수행하여, 금속층과 유전체층를 복층으로 형성하는 단계;를 포함하여, 적외선 흡수율을 95%이상으로 향상킬 수 있는 효과가 있다.
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