자기장을 이용한 탈착용 미세섬모 구조물, 이를 이용한 기판 이송 장치 및 이의 제조방법

Abstract

본 발명은 베이스부재, 베이스부재 일측면 상에 돌출되게 형성되며, 복수개가 상호 이격되게 배치되어 있는 미세섬모들, 각 미세섬모의 노출 단부에 일체로 형성되어 접촉대상물과 접촉되고, 미세섬모의 횡단면적보다 큰 단면적을 갖도록 형성되어 미세섬모의 가장자리부로부터 돌출되게 형성되며, 자기장에 의하여 접촉대상물을 향하는 일 방향 또는 타 방향으로 움직이도록 자성을 띄는 연질의 재질로 형성되어 접촉대상물을 흡착하거나 분리하는 접촉부 및 베이스부재의 타측에 위치하고 자기장을 발생시켜 접촉부를 움직이게 하는 자기장 발생부를 포함하는 자기장을 이용한 탈착용 미세섬모 구조물을 제공한다.

따라서 자기장을 이용하여 접촉부를 움직이게 할 수 있기 때문에, 상기한 자기장을 변화시키는 것만으로도 접촉대상물의 흡착 및 분리를 용이하게 할 수 있으며, 접촉대상물을 외력에 의하여 분리시키지 않고 자기장을 이용하여 접촉대상물을 자체적으로 흡착 및 분리하기 때문에 접촉대상물의 파손 또는 손상을 방지할 수 있다.