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- Baik, Jeong Min
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스핀 열전 소자 및 이의 제조방법
- Alternative Title
- SPIN THERMOELECTRIC AND THE FABRICATION METHOD THEREOF
- Application Date
- 2017-07-27
- Registration Date
- 2017-09-18
- Application No.
- 10-2017-0095244
- Publication No.
- 10-1780943
- Abstract
- 본 발명은 스핀 열전 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로서, YIG 재료를 혼합하고, 졸-겔법에 의해 YIG 파우더가 형성되는 단계; 상기 YIG 파우더를 칼시네이션 공정에 의해 1차 열처리하여 결정화하는 단계; 상기 열처리된 YIG 파우더가 프레싱 공정에 의해 YIG 필렛으로 형성되는 단계; 상기 YIG 필렛을 신터링 공정에 의해 2차 열처리하여 자성특성을 갖는 열전층을 제조하는 단계; 및 상기 열전층 상에 전극층을 형성하는 단계;를 포함하되, 상기 2차 열처리하는 단계에서, 상기 2차 열처리 온도는 1400℃로 상기 1차 열처리 온도보다 높은 스핀 열전 소자의 제조방법이다.
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