Related Researcher


Baik, Jeong Min
Nano Energy and Environmental Materials Lab
Research Interests
  • Nanogenerators, antimicrobial material, catalysis, smart sensors


E-beam 조사에 의한 고감도 MIT 센서용 나노소재 개발

Cited 0 times inthomson ciCited 0 times inthomson ci
E-beam 조사에 의한 고감도 MIT 센서용 나노소재 개발
Other Titles
VO2 based ultra-sensitive MIT sensor by E-beam irradiation
Baik, Jeong Min
VO2; MIT; E-beam irradiation; Sensor; Sputter
Issue Date
UNIST AIRC (Academy-Industry Research Corporation)
III. 연구개발의 내용 및 범위 VO2 나노선의 금속-절연체 전이(MIT) 온도 제어 기술 확보와 이를 이용한 고감도 환경 센서용 나노소재 개발을 위해, 본 연구에서는 아래의 연구 내용을 수행하였다. ■ 단결정 VO2 나노선 성장 기술 개발 - 대기압화학기상증착법과 코스퍼터법을 이용한 대면적 VO2 나노선 성장 기술 개발 - 나노선 집적화 기술 개발을 위해 나노패터닝을 이용한 기판의 표면 거칠기 및 형상 제어에 따른 나노선 성장 연구 - 실시간 XRD 실험을 통한 초기 성장 시의 핵(V2O5) 생성 거동 및 다양한 기판에서의 VO2 나노선 성장 기구 규명 ■ MIT 온도 제어 연구 - 코스퍼터를 통한 W, Mo, Sn, Ru등 여러 금속의 도핑 조건 확립 - 고에너지 E-beam 입사에 따른 전도도 특성 변화 및 MIT 온도 제어 방안 도출 : 미세구조 및 조성 변화, 에너지밴드 구조 → 상전이 온도와의 상관관계 규명 - VO2 나노선의 미세 구조 제어 연구 및 상 안정성 연구 ■ 불균일 촉매 현상을 이용한 소자 응용 연구 - 금속나노입자 제어에 따른 나노센서 특성 연구 - 금속-절연체 상전이 온도 및 표면기능 제어를 통한 저온에서 작동 가능한 고감도 환경 센서 제작 : Sensitivity ((Sg-Sa)/Sa) > 100, Selectivity > 2 gases, response time < 1 min ■ MIT 특성을 이용한 나노선 어레이 센서 디자인 연구 III. Contents ■ Growth of single-crystal VO2 nanowires by On-Film Formation (OFF) of nanowires technique - Development of synthesis processes for VO2-based nanowires from VOx thin film produced by co-sputtering method. - Development of nanowire integration techniques ■ Control of MIT temperature - Conductance control by electron beam irradiation and metal impurities doping - Analysis the correlation between conductance, microstructure and MIT temperature - Study of phase stabilization in VO2 based nanowires by electron beam irradiation ■ Fabrication of MIT based chemical sensor - Study the surface functionalization effects on sensing properties - Fabrication of ultra-sensitive MIT sensor operable under low temperature : Sensitivity ((Sg-Sa)/Sa) > 100, Selectivity > 2 gases, response time < 1 min - Propose gas detection mechanism of MIT sensor Design of sensor array based on VO2 systems
Go to Link
Appears in Collections:
MSE_Research Reports

find_unist can give you direct access to the published full text of this article. (UNISTARs only)

Show full item record


  • mendeley


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.